旋涂镀膜法

旋涂镀膜法应用非常广泛，比如给相对平整的基片镀膜。镀膜的材料要溶解在相应的溶剂当中，然后将溶液滴到基片的表面，利用旋涂的方式制成均匀的涂膜，以备后续加工用。有一些加工工艺必须使用旋涂的方式进行镀膜：（1）用于微电子线路生产的光刻胶；（2）微用于电子线路生产的电解质/绝缘层，如SOG，SiLK等；（3）磁盘镀膜- 磁性粒子悬浮液，磁头润滑剂等；（4）平板液晶屏镀膜-增透膜，导电膜等；（5） 压缩盘，如DVD光盘，CD ROM等；（6）电视显像管荧光体和增透膜。