厦门迈凯伦精瑞科仪有限公司 主营:匀胶机,烤胶机,紫外固化机,滴胶机,浸胶机(垂直提拉机)
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标准型匀胶机

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  • 产品名称:标准型匀胶机
  • 产品型号:SC100-SE
  • 产品展商:Best Tools
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简单介绍

Smart Coater®精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。

产品描述

不锈钢外壳比塑料或者镀漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用于track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中领先的蕞大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定和极高的可重复性。


特性优点:

  • 蕞新的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。
  • 7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。
  • Telon ®/Polyethylene “密闭碗设计可适合各种材料匀胶工艺。
  • 标准配置转速10000rpm,并可根据用户需要进行定制。
  • 采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
  • 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。
  • 排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性
  • 透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。

 

主要性能指标:

  • 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
  • 旋涂程序:蕞多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1
  • 转动速度:0-10,000rpm(可选更高速)
  • 旋涂加速度:0-50,000rpm/Sec(空载)
  • 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%
  • 转速调节精度<1rpm,重复性< 1rpm
  • 工艺时间设定: 0-3,000 Sec/Step,时间设置精度:0.1sec
  • 支持Wafer尺寸1cm-200mm
  • 旋涂作业均匀性:< ±3% 6英寸范围内需要去除边缘3毫米区域测量)
  • 设备尺寸  32cm W × 44cm D × 30cm H
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